无油真空泵的选择介绍
2019-05-22 关注次数：无油真空泵的选择介绍：
1.无油真空泵的工作压强应该满足真空设备的Ji限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度Zhi少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2.正确地选择无油真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3.无油真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
