1、引言

　　涡旋无油真空泵的概念相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专Li。但由于当时技术水平的限制，涡旋无油真空泵机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出第Yi台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受行业Lin先者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等着名公司的涡旋压缩机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮，带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。

　　今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业，实现了全无油真空泵、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染，并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。

　　上个世纪90年代初，世界上Shou台涡旋真空泵推向市场，涡旋技术由此开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。到目前为止，世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在美国、日本和欧洲，以日本的Anest1wata、美国的Varian、德国的Bush等为代表。产品包括了自0.25L／S-1OL／S系列产品，有些15L／S或更大抽气量的产品也在试验阶段。

　　2、涡旋无油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特点与应用领域

　　清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始，人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时Zhi今日，清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中，涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备；③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；④医Liao设备——牙科仪器、透析机；⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备；⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

　　3、涡旋无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比

　　涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。无油真空泵动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。